短時間停電保護

①停電時冷阱與真空泵之間的隔離閥自動關(guān)閉。

②升華中若停電，箱、阱閥開啟，以利用冷阱中的冷量捕捉升華的水蒸氣。

③停電時，機器的程序狀態(tài)、運行數(shù)據(jù)、設(shè)定參數(shù)均自動存儲。

④復(fù)電時，程序按原中斷處重新運行，同時所有電機按設(shè)定順序依次啟動，以免多臺電機同時啟動對電網(wǎng)造成電流沖擊。