電容式薄膜真空計(jì)性能穩(wěn)定，其測(cè)量范圍一般為10~l0-Pa，適合于有氧氣、水蒸氣及油蒸氣氣氛的壓力測(cè)量。

電容式薄膜真空計(jì)的主要特點(diǎn)如下。

①測(cè)量結(jié)果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類無關(guān)。

②結(jié)構(gòu)牢固，使用方便。

③可作為粗低真空的副標(biāo)準(zhǔn)和傳遞標(biāo)準(zhǔn)。

④可制成高溫恒溫式真空計(jì)，這對(duì)于防止因真空測(cè)頭不能徹底滅菌所造成的凍干箱的污染非常重要。