(1)大型微電子工業(yè)潔凈室的實例   

        1）用離心風機的集中循環(huán)方式(設顯熱盤管)，主循環(huán)用AHU設在地面機房內，回風與新風(來自FAAHU )混合后，進入送風靜壓箱。

        2）分散布置中型AHU方式(設顯熱盤管)，三層結構，潔凈室頂部為主循環(huán)用中型AHU機房，新風AHU出風送入該機房，與回風相混合。廠房占地面積少，但廠房高度高，頂部設AHU有水患。

        3）風機一過濾器單元+顯熱盤管，頂部用FFU回風，靜壓室內設SHCC,新風經(jīng)FAAHU送入送風靜壓室。

        4）標準廠房改建潔凈室，采用FFU，送風與回風靜壓層均在0. 75m?；仫L經(jīng)玻璃直通道進入靜壓箱。SHCC水平安裝在通道頂部。新風經(jīng)FAAHU送入送風靜壓層，高度小，經(jīng)濟。

    所有方案中對新風處理都十分重視，圖44-28為新風處理流程實例。

    (2)制藥廠的潔凈室系統(tǒng)例制藥廠生產(chǎn)工藝中，關鍵性的潔凈生產(chǎn)部分空間有限，大多在IS07級(或更低)的潔凈室中，用層流罩構成封閉的高潔凈度環(huán)境(見圖44-29)。此外，在回風口設有空氣過濾器，對粉劑進行過濾后，空氣進入空氣處理箱。以避免車間之間交叉污染，在送風管路上。可設定風量裝置，以維持恒定的送風量。對于車間內產(chǎn)塵(藥粉)的操作點，可設置如圖44-30a所示的局部自循環(huán)吸塵機系統(tǒng)，以及圖44-30b所示的集中式吸塵系統(tǒng)。通過過濾器，使?jié)崈羰铱諝夥祷剀囬g。