在低溫技術(shù)中，用于進行制冷循環(huán)或液化循環(huán)的工質(zhì)，通稱為低溫工質(zhì)。它們在封閉式制冷系統(tǒng)中作為制冷工質(zhì);在氣體分離及液化裝置中既作為產(chǎn)品氣體，同時，也起制冷工質(zhì)的作用。 低溫工質(zhì)液化后，可以作為低溫制冷劑。凡標(biāo)準(zhǔn)沸點低于120K的元素或化合物，以及它們的混合物，原則上均可用作低溫工質(zhì)。
低溫技術(shù)中最常用的工質(zhì)有空氣、氧、氮、氬、氖、氦、氫和甲烷等。