真空泵(圖8-33)是利用機械、物理、化學或綜合方式對被抽容器的某一封閉空間產生、改善和維持真空的裝置。真空泵品種繁多，發(fā)展迅猛，所涉及的范圍很寬；其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升；極限壓力(極限真空)可以達到從初真空到10ˉ12Pa以上的超高真空。

    根據(jù)工作原理可將真空泵分為往復式真空泵和旋片式真空泵。往復式真空泵是利用泵腔內做往復式運動的活塞將氣體吸入、壓縮并排出，故也稱為活塞式真空泵，運動原理類似于往復活塞式壓縮機。旋片式真空泵是利用泵腔內轉子做旋轉運動，將氣體吸入、壓縮并排出。