真空泵(圖8-33)是利用機(jī)械、物理、化學(xué)或綜合方式對被抽容器的某一封閉空間產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵品種繁多，發(fā)展迅猛，所涉及的范圍很寬；其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升；極限壓力(極限真空)可以達(dá)到從初真空到10ˉ12Pa以上的超高真空。

    根據(jù)工作原理可將真空泵分為往復(fù)式真空泵和旋片式真空泵。往復(fù)式真空泵是利用泵腔內(nèi)做往復(fù)式運(yùn)動的活塞將氣體吸入、壓縮并排出，故也稱為活塞式真空泵，運(yùn)動原理類似于往復(fù)活塞式壓縮機(jī)。旋片式真空泵是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，將氣體吸入、壓縮并排出。