高真空設(shè)備工作時(shí)，都是從大氣狀態(tài)下開始抽氣的。為此，在設(shè)備達(dá)到預(yù)定的高真空之前，必須先測(cè)量低真空。由于測(cè)量低真空和高真空一般不能用同一種真空計(jì)來完成，因而需采用由低真空計(jì)和高真空計(jì)組的復(fù)合真空計(jì)。應(yīng)用最多的是電離真空計(jì)與熱偶真空計(jì)組合而成的電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)，簡(jiǎn)稱為復(fù)合真空計(jì)。其測(cè)量范圍可擴(kuò)展至13~10ˉ?Pa，其中13~10ˉ1Pa由熱偶真空計(jì)測(cè)量；10ˉ1~10ˉ?Pa由電離真空計(jì)測(cè)量。這類復(fù)合真空計(jì)的結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，且使用方便。

缺點(diǎn)是由于熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)的測(cè)量原理不同，出現(xiàn)了10ˉ1Pa處不能很好銜接的問題。