電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、分辨力高、能感受0.01μm甚至更小的唯一、無反作用力、動(dòng)態(tài)響應(yīng)號(hào)、能實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量、能在惡劣環(huán)境下工作等優(yōu)點(diǎn)，而且隨著新工藝、新材料問世，特別是電子技術(shù)的發(fā)展，使干擾和寄生電容等問題不斷得到解決，因此越來越廣泛應(yīng)用于各種測(cè)量中，電容式傳感器可用來測(cè)量直線為宜、角位移、振動(dòng)振幅（可測(cè)至0.05μm微小振幅），尤其適合測(cè)量高頻振動(dòng)振幅、精密軸系回轉(zhuǎn)精度、加速度等機(jī)械量，還可用來測(cè)量壓力、壓差力、液位、料面、成分含量（如油、糧食中的含水量）、非金屬次啊聊的土層、油膜等厚度，測(cè)量電介質(zhì)的師傅、密度、厚度等等。

在自動(dòng)檢測(cè)和控制系統(tǒng)中也常常用來作為位置信號(hào)發(fā)生器，當(dāng)測(cè)量金屬表面狀況、距離尺寸、振動(dòng)振幅時(shí)，往往采用單邊式變極距型電容傳感器，這時(shí)被測(cè)物是電容器的一個(gè)電極，另一個(gè)電極則是在傳感器內(nèi)。